发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02216850(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19900016011 申请日期 1990.01.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI YUKIRO;MASUDA IKURO;IWAMURA MASAHIRO;KATONO SHINJI;URAGAMI KEN;YOSHIMURA MASAYOSHI;MATSUBARA TOSHIAKI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;H03K19/0175 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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