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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02216842(A)
申请公布日期
1990.08.29
申请号
JP19890036199
申请日期
1989.02.17
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD
发明人
TAKEI EIJI;MIZUSAKI YUKIO
分类号
H01L21/603;H01L21/60
主分类号
H01L21/603
代理机构
代理人
主权项
地址
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