| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXCITATION ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02216814(A) |
申请公布日期 |
1990.08.29 |
| 申请号 |
JP19890039017 |
申请日期 |
1989.02.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
KAWAMURA GOHEI;KOSHIISHI AKIRA |
| 分类号 |
H01J27/20;H01J27/08;H01J37/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J27/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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