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发明名称
TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号
JPH02216823(A)
申请公布日期
1990.08.29
申请号
JP19890037718
申请日期
1989.02.17
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MATSUOKA FUMINORI
分类号
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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