发明名称 MEASURING INSTRUMENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02216474(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19890037625 申请日期 1989.02.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OSHIMA TSUTAE
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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