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发明名称 PROCESS FOR FORMING CONTACTS AND INTERCONNECTS FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0225920(B1) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 EP19860903952 申请日期 1986.06.02
申请人 NCR CORPORATION 发明人 METZ, WERNER, ADAM, JR.;SZLUK, NICHOLAS, JOHN;MILLER, GAYLE, WILBURN;DRURY, MICHAEL, JOSEPH;SULLIVAN, PAUL, ANDREW
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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