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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH02216817(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19890036075 申请日期 1989.02.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOKAWA IWAO;SUGANUMA TATSUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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