| 发明名称 |
Semiconductor device manufacture including trench formation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4952524(A) |
申请公布日期 |
1990.08.28 |
| 申请号 |
US19890347975 |
申请日期 |
1989.05.05 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
LEE, KUO-HUA;LU, CHIH-YUAN |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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