CVD装置用之玻璃样碳组件及其制法

摘要

本发明揭示一种供CVD装置使用之玻璃样碳内管及其制造方法。该内管之表面经粗糙化，而不增加产生粒子之金属杂质。其对CVD沉积膜之添加改善，且亦具有高度圆度。该表面粗糙度(内表面及外表面两者)根据JISB0601测量系为0.1至10微米。表面中金属杂质(铁、铜、铬、钠、钾、钙、镁、及铝)之浓度低于50×10^10原子／厘米^2。