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发明名称 Microlithographic apparatus
摘要
申请公布号 US4952858(A) 申请公布日期 1990.08.28
申请号 US19880198545 申请日期 1988.05.18
申请人 GALBURT, DANIEL N. 发明人 GALBURT, DANIEL N.
分类号 G12B5/00;G03F7/20;G05D3/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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