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发明名称 EVACUATION-DRIVEN SMIF POD PURGE SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1075418(A4) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP19990914037 申请日期 1999.03.22
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FOSNIGHT, WILLIAM, J.;BONORA, ANTHONY, C.;MARTIN, RAYMOND, S.;TATRO, JAY
分类号 H01L21/677;H01L21/673;(IPC1-7):B65B1/04 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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