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发明名称 MANUFACTURE OF MOS INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02214153(A) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 JP19890034737 申请日期 1989.02.14
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 FUJIMOTO KIWAMU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/8234;H01L27/088 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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