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发明名称 ULTRAVIOLET SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02214570(A) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 JP19890034081 申请日期 1989.02.14
申请人 ORC MFG CO LTD 发明人 WATANUKI MINORU
分类号 B05C9/12;B01J19/12;B05D3/06;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/28 主分类号 B05C9/12
代理机构 代理人
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