发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02214117(A) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 JP19890035422 申请日期 1989.02.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAGI HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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