发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02214114(A) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 JP19890035434 申请日期 1989.02.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUROI TAKASHI
分类号 H01L21/761;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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