微机电系统与光调变器阵列之控制技术

摘要

一种微机电系统(MEMS)装置阵列其具有行线及列线例如光调变器阵列系经由提供多个分开电压，由多个分开电压多工化一选定电压其欲施加至该阵列之各个MEMS装置，以及致能该选定分开电压之施加至该阵列的各个MEMS装置而回应于一输入信号加以控制。