发明名称 LIQUID RAW MATERIAL VAPORIZATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02214536(A) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 JP19890034594 申请日期 1989.02.14
申请人 KOUJIYUNDO KAGAKU KENKYUSHO:KK 发明人 HOCHIDO YUKO;FUTAKI TAKEHIKO;YOKOYAMA HIDECHIKA
分类号 B01J7/00;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 B01J7/00
代理机构 代理人
主权项
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