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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号
CA2008378(A1)
申请公布日期
1990.08.27
申请号
CA19902008378
申请日期
1990.01.23
申请人
AMIR, ISRAEL;HIGGINS, FRANK P.
发明人
AMIR, ISRAEL;HIGGINS, FRANK P.
分类号
H05K13/08;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956
主分类号
H05K13/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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