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发明名称
TEMPERATURE GRADIENT COMPENSATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02213910(A)
申请公布日期
1990.08.27
申请号
JP19890035369
申请日期
1989.02.15
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
TANAKA MINORU
分类号
H01L23/58;G05D23/19;G05D23/24;H03F1/30
主分类号
H01L23/58
代理机构
代理人
主权项
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