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发明名称 VACUUM SYSTEM FOR LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR1019900006260(B1) 申请公布日期 1990.08.27
申请号 KR1019870015004 申请日期 1987.12.26
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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