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发明名称 JOHATSUSHURYOTENKENSHUTSUHOHO
摘要
申请公布号 JPH0237429(B2) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19840242567 申请日期 1984.11.19
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 JOSEFU DEI GUREGORII;JEEMUZU EMU BADONITSUKU
分类号 C23C14/54;G01N25/10;H01L21/285 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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