Metal barrier film production apparatus, metal barrier film production method, metal film production method, and metal film production apparatus,申请号EP20040017494-传众专利搜索

发明名称	Metal barrier film production apparatus, metal barrier film production method, metal film production method, and metal film production apparatus
摘要
申请公布号	EP1475455(A8)	申请公布日期	2005.02.23
申请号	EP20040017494	申请日期	2002.10.28
申请人	MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.	发明人	SAKAMOTO, HITOSHI;YAHATA, NAOKI;MATSUDA, RYUICHI;OOBA, YOSHIYUKI;NISHIMORI, TOSHIHIKO
分类号	H01L21/28;C23C8/36;C23C16/34;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/507;C23C16/56;C23C28/00;C23C30/00;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C28/02	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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