发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE METALLIC PART FORMATION
摘要
申请公布号 JPH02213127(A) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19890320417 申请日期 1989.12.08
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 BUIRENDORA BUIA SHIN RANA;NUNNSHIAN TSUAI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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