发明名称 DEVICE FOR INSPECTING SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH02213745(A) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19890035346 申请日期 1989.02.14
申请人 CANON INC 发明人 AZUMAYA YOSHIYUKI
分类号 G01N33/49;G01N15/14 主分类号 G01N33/49
代理机构 代理人
主权项
地址