发明名称 APPARATUS FOR THERMAL TREATING OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 SU1587083(A1) 申请公布日期 1990.08.23
申请号 SU19884422834 申请日期 1988.05.10
申请人 MYTAREV NIKOLAJ M,SU;KORZINKIN VYACHESLAV S,SU;FOMIN GLEB A,SU;GOLOVKO BORIS,SU;OKSENTEVICH ALEKSANDR A,SU;GILYAROVA GALINA M,SU;ROGACHEV BORIS V,SU 发明人 MYTAREV NIKOLAJ M,SU;KORZINKIN VYACHESLAV S,SU;FOMIN GLEB A,SU;GOLOVKO BORIS I,SU;OKSENTEVICH ALEKSANDR A,SU;GILYAROVA GALINA M,SU;ROGACHEV BORIS V,SU
分类号 C30B33/00;C30B25/02 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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