| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DOPING IN VAPOR PHASE CRYSTAL GROWTH OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02212392(A) |
申请公布日期 |
1990.08.23 |
| 申请号 |
JP19890029730 |
申请日期 |
1989.02.10 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
MIURA YASUNORI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B31/06;H01L21/205;H01L21/223 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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