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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02210834(A) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 JP19890029987 申请日期 1989.02.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIMAZAKI TOYOYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/43;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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