发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02211622(A) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 JP19890031081 申请日期 1989.02.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUNISHIMA IWAO;SUGURO KYOICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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