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发明名称 POSITIVE RESIST PATTERNS
摘要
申请公布号 EP0304082(A3) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 EP19880113511 申请日期 1988.08.19
申请人 TOSOH CORPORATION 发明人 TSUTSUMI, YOSHITAKA;SEITA, TORU;MATSUMARA, KOUSABUROU;NAGAOKA, KYOKO;YANAGIHARA, TOSHIMITSU
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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