发明名称 METHODS OF FORMING TRENCH ISOLATION REGIONS
摘要
申请公布号 EP1738403(A1) 申请公布日期 2007.01.03
申请号 EP20050731310 申请日期 2005.03.25
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 DERDERIAN, GARO;MANNING, MONTGOMERY, H
分类号 H01L21/762;H01L21/308 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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