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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02210824(A) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 JP19890029595 申请日期 1989.02.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO HIDEKI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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