发明名称 HANDOTAISUITSUCHISOSHI
摘要
申请公布号 JPH0237110(B2) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 JP19820136261 申请日期 1982.08.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 SASAYAMA TAKAO
分类号 H01L29/78;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/68;H01L29/72;H01L29/73;H03K17/567 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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