| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02210821(A) |
申请公布日期 |
1990.08.22 |
| 申请号 |
JP19890029796 |
申请日期 |
1989.02.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAGA TORU;ONO YUICHI;FUJISAKI YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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