发明名称 BAR CODE REMOTE RECOGNITION SYSTEM FOR PROCESS CARRIERS OF WAFER DISKS.
摘要 Un système de reconstitution à distance fondé sur la technique de reconnaissance de codes à barres sert à surveiller la progression d'une pluralité de lots de tranches semiconductrices ou disques à mémoire (17) à travers une série d'opérations de traitement. Chaque lot est placé dans un support (12) qui le transporte jusqu'à des emplacements divers d'exécution d'opérations de traitement. Chaque support (12) est pourvu d'une étiquette (16) portant un code à barres optiquement visible et codée de façon à permettre sa détection dans le rayon d'action d'une unité de lecture (23) de codes à barres, qui transmet des signaux à faisceaux de lumière modulée à l'étiquette codée (16) à code à barres et qui lit et décode le faisceau de lumière réfléchi et capté par un récepteur optique de façon à identifier sans équivoque le support situé à portée de l'unité de lecture (23). Afin de surveiller la progression des lots de tranches semiconductrices ou disques à mémoire à travers des opérations multiples de traitement, les informations fournies par les unités de lecture (23) sont reçues par des appareils supplémentaires de commande (30, 38).
申请公布号 EP0382797(A1) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 EP19890902909 申请日期 1989.02.17
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 MILBRETT, LYNN
分类号 G06K7/10;G06K19/02;G07C3/00 主分类号 G06K7/10
代理机构 代理人
主权项
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