电容式定向倾斜检测角位移传感器

摘要

本发明是检测定向倾斜度或垂直度的角位移传感器。主要由变面积式角位移传感器组成。使动极板相对于水平线不可作旋转运动，定极板可相对于水平线和动极板作旋转运动来实现。本发明同时具有高精度、高线性度及不受检测方向以外倾斜因素影响的优点，还可作旋转角位移传感器。

主权项

1、电容式定向倾斜检测角位移传感器，由用于检测旋转角位移的电容式角位移传感器构成，其特征在于：电容式角位移传感器是极板变面积电容式角位移传感器，极板变面积电容式角位移传感器的动极板相对于水平线不可作旋转运动，定极板相对于水平线和动极板可作旋转运动，定极板与动极板间电容量变化值是检测出的定向倾斜角位移或垂直度。