盘形涡轮分子泵

摘要

本发明涉及一种改进的盘形分子泵。该泵可由一级或多级串联构成。每一级由一片带有涡轮叶齿的旋转圆盘和一片在盘面上开有圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。定圆盘上抽气沟槽也可以是其他线形，如对数线形。多级泵定圆盘的两侧面都有抽气沟槽。本泵具有制造工艺简单，抽气性能好等特点。

主权项

1、一种主要有驱动电机，泵体内有旋转圆盘和定圆盘，定圆盘盘面上开有抽气沟槽的单级和多级盘形涡轮分子泵，其特征在于：(1)、旋转圆盘上沿外侧圆周均匀分布有涡轮短叶齿，(2)、定圆盘盘面一面或两面所开的抽气沟槽沿圆周均匀分布，且呈放射性圆弧线形或直线形。