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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING APPEARANCE
摘要
申请公布号 JPH02210249(A) 申请公布日期 1990.08.21
申请号 JP19890031591 申请日期 1989.02.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 TANIGUCHI YUZO;FUKUI TORU;MAKIHIRA HIROSHI;SATO OSAMU;HORI GIICHI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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