发明名称 |
DRY ETCHING OF ALUMINUM AND ALUMINUM ALLOY |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH02209728(A) |
申请公布日期 |
1990.08.21 |
申请号 |
JP19890030526 |
申请日期 |
1989.02.09 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAKAI ITSUKO;YOSHIDA MASAO;SEKINE MAKOTO;OKANO HARUO;ARIKADO TSUNETOSHI |
分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|