发明名称 ZETSUENMAKUNOKETSUKANKENSHUTSUHO
摘要
申请公布号 JPH0236902(B2) 申请公布日期 1990.08.21
申请号 JP19790096285 申请日期 1979.07.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIOKA SUNAO
分类号 G01R31/12;G01N21/88;G01N21/956;G01N27/00;G01N27/20;H01L21/66 主分类号 G01R31/12
代理机构 代理人
主权项
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