| 发明名称 |
Substrate transport and cooling apparatus and method for same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4949783(A) |
申请公布日期 |
1990.08.21 |
| 申请号 |
US19880195707 |
申请日期 |
1988.05.18 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
LAKIOS, EMMANUEL N.;MCGRAW, MICHAEL F. |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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