发明名称 SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02210211(A) 申请公布日期 1990.08.21
申请号 JP19890029927 申请日期 1989.02.10
申请人 NKK CORP;TOSHIBA CORP 发明人 IWANAGA KENICHI;TAKEKOSHI ATSUHISA;FURUKAWA TAKAHITO;MORIOKA YOSHIHISA
分类号 G01B11/30;G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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