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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02209485(A) 申请公布日期 1990.08.20
申请号 JP19890029820 申请日期 1989.02.10
申请人 HITACHI LTD;HESCO 发明人 FUKUDA TAKUYA;OGAMI MICHIO;SUZUKI KAZUO;SONOBE TADASHI
分类号 C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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