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发明名称
FORMATION OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号
JPH02208933(A)
申请公布日期
1990.08.20
申请号
JP19890028906
申请日期
1989.02.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAMON KAZUYA
分类号
H01L23/522;H01L21/306;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
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