| 发明名称 |
AUTOMATIC REGULATION DEVICE FOR ELECTRON BEAM CENTRAL AXIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02207441(A) |
申请公布日期 |
1990.08.17 |
| 申请号 |
JP19890026191 |
申请日期 |
1989.02.03 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HAMA SOICHI;OZAKI KAZUYUKI;ITO AKIO;OKUBO KAZUO;ABE TAKAYUKI |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/04;H01J37/147 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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