发明名称 PROCEDE DE DEPOT EN PHASE VAPEUR A BASSE TEMPERATURE D'UN REVETEMENT CERAMIQUE DU TYPE NITRURE OU CARBONITRURE METALLIQUE
摘要 <P>L'invention a pour objet un procédé de dépôt en une étape d'un revêtement de type céramique à base de nitrures ou carbonitrures d'au moins un élément métallique choisi parmi Cr, V, Zr, W, Mo, Co, Mn, Ni, Hf et Ta, sur un substrat métallique ou céramique, massif ou obtenu à partir de fibres, par dépôt en phase vapeur, caractérisé en ce que l'on dépose sur le substrat un revêtement par voie chimique sous une pression inférieure à 10 KPa, à une température inférieure à 600 degre(s)C et en utilisant un système des précurseurs constitué simultanément : - d'un précurseur organo-métallique dudit élément métallique choisi parmi les composés organo-métalliques de type sandwich de formule générale [Ar**o M Ar**1n ] Lx L'y ; - d'un précurseur d'azote choisi parmi l'ammoniac et l'hydrazine.</P>
申请公布号 FR2643071(A1) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 FR19890002045 申请日期 1989.02.16
申请人 UNIREC;C3F COMP FRANC FORGES FOND 发明人 JEAN-FRANCOIS NOWAK;FREDERIC SCHUSTER;FRANCIS MAURY;ROLAND MORANCHO
分类号 C04B41/50;C04B41/87;C07F11/00;C23C;C23C16/18;C23C16/34;C23C16/36;(IPC1-7):C04B41/87;C23C16/16;C23C16/44 主分类号 C04B41/50
代理机构 代理人
主权项
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