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发明名称 THIN FILM COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02207869(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890025144 申请日期 1989.02.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKI HIROMICHI;SUGIYAMA HITOSHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/31 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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