发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02207558(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890028359 申请日期 1989.02.07
申请人 FUJITSU MIYAGI ELECTRON:KK 发明人 SAITO DAIICHI;SHIRAKAWA SHIGEO
分类号 H01L21/56;H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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