发明名称 TRANSIENT CAPACITANCE SPECTROSCOPING METHOD AND EQUIPMENT THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH02207544(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890026541 申请日期 1989.02.07
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 ANDOU TAKASHI;KATSUI AKINORI
分类号 G01N21/00;H01L21/66 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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