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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A TRENCH
摘要
申请公布号 EP0193116(B1) 申请公布日期 1990.08.16
申请号 EP19860102225 申请日期 1986.02.20
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 TAKA, SHIN-ICHI C/O PATENT DIVISION;OHSHIMA, JIRO C/O PATENT DIVISION;ABE, MASAHIRO C/O PATENT DIVISION;AOYAMA, MASAHARU C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/3065;H01L21/76;H01L21/302;H01L21/74 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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