| 发明名称 |
Verdampfbare Zttriumoxid, Tinaoxid und Zirkoniumoxid enthaltende Zusammensetzung und deren Verwendung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3890060(C2) |
申请公布日期 |
1990.08.16 |
| 申请号 |
DE19883890060 |
申请日期 |
1988.02.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K. |
发明人 |
TSUBOI, SYUNGO;MATSUSHITA, YOSHIFUMI |
| 分类号 |
C04B35/622;C23C14/08;C23C14/24;H01L31/02;H01L31/0216;H01L33/44;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/30;G02B1/10 |
主分类号 |
C04B35/622 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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